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Zum Züchten von 4” GaAs Einkristalle nach Vertical Gradient Freeze (VGF) Prozess

Die wichtigsten Merkmale

• Widerstandsbeheizter Ofen, Haubenofendesign
• 4” GaAs Einkristallzucht
• Nutzvolumen: Durchmesser 110 mm, Höhe 640 mm
• 8 Heizzonen, individuell kontrollierbar
• Max. Arbeitstemperatur 1500°C
• Heizleistung 12 kW
• Prozessgase: Argon, Vorevakuierung möglich
• Druckbehälter mit max. Betriebsdruck von 10 bar
• Überwachungsthermolemente in Keimumgebung
• Al2O3 Rohr für Temperaturhomogenität, Quarzglasampulle für Heizerschutz
• Fully-automated touchscreen PLC system
• Temperaturgenauigkeit +/- 0.2 K
• Kühlplatte im Druckbehälter um vertikalen Wärmestrom einzustellen
• Vorbereitet für späteres Upgrade zu 6” Kristallgröße

Wir machen es möglich

Linn High Therm ist Spezialist bei der Anpassung seiner Produkte an Kundenbedürfnisse. Teilen Sie uns gerne mit, falls sie Modifikationen außerhalb des Standardangebots benötigen. Wir werden alles daran setzen, Ihre Wünsche zu erfüllen.

Mögliche standardisierte Optionen

• Notwasserkühlung
• Prozessleitsoftware
• Bodenladerdesign
• Umlaufkühler
• Simulationen von VGF Prozess für 2”, 4” und 6” Zucht
• Kristallzüchtung Training von einem namhaften Deutschen Forschungsinstitut
• 2” Heineinsatz
• 6” Heineinsatz