Печь серии IT-GRV-330/350/2300

Максимальная температура до 2300 °C

Реактор для выращивания 4” монокристалла карбида кремния благодаря сублимационному росту

Область применения:

выращивание кристаллов

Для вакуумного напыления, роста монокристаллов карбида кремния согласно модифицированному методу Лели

Другими областями применения могут быть: синтез сверхчистого сырья карбида кремния

Технические требования к изделию

Важные характеристики

Индукционная печь, дизайн - вертикальное положение
Выращивание 4” монокристалла карбида кремния
Максимальная рабочая температура 2300°C
Средняя частота мощности нагрева 30 кВт
Рабочая частота 8-10 кГц
Технологический газ: азот, аргон, водород, частичная работа под давлением от 5 до 950 мбар
Вакуумплотная/газоплотная камера, водоохлаждаема благодаря конструкции стеклянной трубы
Вакуумная система нагнетания для вакуума 2 x 10^-5 мбар с турбомолекулярным насосом (685 л/с)

Сверхчистая изоляция из графита и войлока (очищена галогеном)

Мы делаем возможным

Фирма Linn High Therm – специалист адаптировать свою продукцию согласно желанию клиента. Пожалуйста, сообщите нам, если Вам необходимо видоизменение стандартного предложения. Мы сделаем все, чтобы исполнить Ваше желание.

Возможные стандартные опции

Вращение тигля и трансляция
Пирометр для днища тигля
Аварийное охлаждение водой
Программное обеспечение
Дизайн - загрузка снизу
Циркуляционный охладитель
Обучение выращиванию кристаллов известным немецким научно-исследовательским институтом

Технические характеристики изделия

Группа товарных изделий:	отдельная печь
Режим эксплуатации:	периодический режим
Конструктивное исполнение:	печь
Конструкция:	трубчатая печь
Максимальная температура (°C):	2300
Нагрев:	электрический нагрев
Метод нагрева:	индукционный нагрев
Атмосфера:	защитный газ, вакуум
Область применения:	выращивание кристаллов

Продукция- Подробная информация