В качестве нагревателя во время химического осаждения из газовой фазы используют трубчатые печи фирмы Linn High Therm серии FRV и FRH. Ретортные печи крупных размеров с муфелями из специальных литейных сплавов допускают садку слоев твердых металлов, пиролитического углерода и металлов при температурах до 1100 °C с парциальным давлением. Для осаждения защитных слоев для солнечных элементов используют печи специальных размеров с защитной газовой атмосферой и вакуумные печи серии KS-S/ Vac.
Для разработки металлоорганических соединений в качестве прекурсора для нанесения защитного слоя и для нанесения защитного слоя на кремниевые пластины используют сушильные шкафы в комбинации с высокочастотными генераторами серии HTG-1200 – HTG-10000. Благодаря сушильному шкафу материал покрытия испаряется в кварцевой реакционной трубе, а стенки реактора нагреваются, для того чтобы предотвратить конденсацию. С помощью высокочастотного генератора подложка нагревается до температуры защитного слоя.
Трубчатая печь серии FRH / FRV, изолированная волокном, высокотемпературная, газоплотная и/или вакуумплотная, внутреннийØ 25 - 150 мм, длина нагрева 150 - 1000 мм, максимальная температура 1800 °C.
Высокочастотный генератор, 1,2 - 10 квт, 150 - 400 кгц
Среднечастотный генератор, 10 квт – 1мвт, 5 - 100 кгц